Из-за важности миниатюризации и интеграции для систем микроволновых цепей технология низкотемпературной керамики с совместным обжигом (LTCC) стала незаменимым подходом к производству. Как правило, при проектировании LTCC-устройств обязательно должны учитываться высокая добротность (Qxf > 10 000 ГГц), соответствующая диэлектрическая проницаемость, близкий к нулю температурный коэффициент на резонансной частоте и низкая температура спекания (T < 961 °C). 1-3 Сообщалось о ряде диэлектрических керамических материалов на основе лития, таких как Li3AlB2O6, Li2WO4, Li2ZrO3 и Li3NbO4 2-5, которые применялись на практике. Среди них Li2ZrO3 имеет εr = 14,1, Q×f = 17 640 ГГц и τf = +39,3 ppm/°C, Li3NbO4, спеченный при 930 °C, имеет значения εr = 15,8, Q×f = 55 009 ГГц и τf = - 49 частей на миллион/°С. Между Li2ZrO3 и Li3NbO4 в системе Li2O–ZrO2–Nb2O5 могут существовать соединения с хорошими микроволновыми диэлектрическими свойствами и низкой температурой обжига. С этой целью были исследованы керамические композиты (1-x)Li3NbO4-(x)Li2ZrO3 (0≤x≤1). При x = 0,75 найдена искомая керамика Lri9Zr3NbO13.
………………
Вывод
Наверняка существует соединение Li9Zr3NbO13 с преимуществами как хороших микроволновых диэлектрических свойств, так и низкой температуры обжига в системе Li2O–ZrO2–Nb2O5. Li9Zr3NbO13 существовал в виде твердого раствора типа Li2ZrO3 при 880-900°С. Как правило, Li9Zr3NbO13, спеченный при 900 °C, продемонстрировал превосходные свойства εr = 21,3, Q×f = 43 600 ГГц (на 7,4 ГГц), τf = 7,3 ppm/°C, что показывает большой потенциал для практического применения.